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美国MKS公司成立于1961年,是环境监测、国防、生命科学与研究,工艺与工业制造和薄膜行业技术解决方案的领先者。MKS Instruments产品适用范围从压力测量和控制核心技术,延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术,MKS产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。
MKS Instruments主要产品:MKS真空计、 MKS压力传感器、MKS压力变送器、MKS压力计、 MKS薄膜真空计、MKS压力开关、MKS真空开关、MKS流量计、MKS质量流量计、MKS质量流量控制器、MKS光学气体分析仪、MKS真空发生器、MKS信号转换器、MKS限位开关、MKS加热器、MKS排气阀、MKS压力控制器