925-12020微型真空计，真空传感器带有基于MEMS的微型Pirani ™™真空传感器，是一种基于独特的基于MEMS的Pirani （微机电系统）真空传感器的热导真空计。这款 925 传感器提供 1x10 的宽测量范围-5托到大气，并具有尺寸NW16 ISO-KF法兰接头。它具有RS485数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。15 针 HD sub-D 公连接器具有 1VDC/十倍频程的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。MicroPirani传感器由硅芯片和加热电阻元件组成，形成腔体的一个表面。芯片顶部的盖子形成型腔的另一个表面。由于传感器的几何形状，腔内不能发生对流，因此传感器对安装位置不敏感。气体分子仅通过扩散传递到测量气体热损失的加热元件。与所有热导率传感器一样，925 对气体类型很敏感。为了补偿气体依赖性，MicroPirani具有许多常见的气体校准，可以通过数字接口进行选择。这使其成为定位真空系统中中到细泄漏的简单解决方案。925 紧凑型设计显著减少了真空计占用的空间。这对系统设计人员特别有吸引力，并允许更紧凑的真空系统